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一种直拉单晶石英坩埚用承载装置.pdfVIP

一种直拉单晶石英坩埚用承载装置.pdf

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    本发明提供一种直拉单晶石英坩埚用承载装置，包括支撑坩埚，在所述支撑坩埚和所述石英坩埚之间设有隔层，所述隔层绕设于所述石英坩埚外壁并沿所述石英坩埚长度方向设置。本发明提出的承载装置，结构简单且易于固定，可操作性高，能有效降低硅单晶碳含量，提升单晶品质；同时还可延长碳/碳复合材料坩埚或石墨坩埚与石英坩埚的使用寿命，降低生产成本，适普性广。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113355740 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 20201

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