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半导体光接收元件.pdfVIP

半导体光接收元件.pdf

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    本发明涉及半导体光接收元件。一种半导体光接收元件，其包括第一半导体层、波导型光电二极管结构、光波导结构以及第四半导体层。所述波导型光电二极管结构被设置在第一半导体层上。所述波导型光电二极管结构包括光吸收层、第二半导体层、倍增层和第三半导体层。所述光波导结构被设置在所述第一半导体层上。光波导结构包括光波导芯层和包覆层。所述波导型光电二极管结构的端面面对光波导结构的端面。所述第四半导体层位于波导型光电二极管结构的端面和光波导结构的端面之间。所述第四半导体层与波导型光电二极管结构的端面的所述倍增层相接

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345977 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110223838.7 (22)申请日 2021.03.01 (30)优先权数据 2020-0350

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