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本发明公开了一种封装薄膜制备仪器环境中的灰尘颗粒检测方法，包括下述步骤：S1、在衬底上生成一层金属薄膜，在金属薄膜的表面生长封装薄膜形成待测样品；S2、通过相机实时对待测样品进行成像；S3、判断图像的灰度值是否均匀下降，当图像的灰度值未均匀下降且局部灰度值下降迅速时，将所述图像中局部缺陷点的数量作为封装薄膜制备仪器环境中的灰尘颗粒数量。本方法可以检测出封装薄膜制备仪器环境中灰尘颗粒的数量，并且能够对当前环境的灰尘颗粒浓度进行评估。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113358536 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110613115.8
(22)申请日 2021.06.02
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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