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本发明提供了一种麦克风及其制造方法。所述麦克风包括具有空腔的基底、设置在所述基底上方的振膜、与所述振膜间隔设置的背板、位于所述背板靠近所述振膜一侧的背板电极以及位于所述背板远离所述振膜一侧的引出电极，所述振膜上设有多层氧化硅层，所述引出电极在所述振膜上的投影至少部分与所述多层氧化硅层重叠。本发明提供的麦克风可减少寄生电容。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113347541 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110767002.3
(22)申请日 2021.07.07
(71)申请人 瑞声声学科技（深圳）有限公司
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