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本发明提供了一种HEMT器件的栅极、HEMT器件及其制备方法,所述HEMT器件的栅极包括:栅脚,所述栅脚位于HEMT器件的源极与漏极之间,所述栅脚至少是两排;栅帽,所述栅帽位于所述栅脚上方,并与所述栅脚连接。本发明提供的栅极包括至少两排栅脚,增加了栅极下方沟道内的电子散射路径,降低了电子能量,减少了热电子数量,抑制了热载流子效应,提高了HEMT器件的线性度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380884 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110636281.X
(22)申请日 2021.06.08
(71)申请人 上海新微半导体有限公司
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