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蚀刻液的评估方法.pdfVIP

蚀刻液的评估方法.pdf

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    本申请公开了一种蚀刻液的评估方法，具体包括：在第一基板上形成第一膜层。在第一膜层上形成第二膜层。在第二膜层上形成具有预设图案的第一蚀刻阻挡层。对第二膜层进行蚀刻以暴露出第一膜层。使用待测蚀刻液对第一膜层进行蚀刻以得到第一膜层的实际蚀刻图案。获取实际蚀刻图案的实际蚀刻参数。预设第一膜层的参考蚀刻图案，获取参考蚀刻图案的参考蚀刻参数。比较参考蚀刻参数与实际蚀刻参数，以评估待测蚀刻液。本申请提供的蚀刻液的评估方法可以提高蚀刻液的开发效率，避免了资源浪费。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113341070 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202110578218.5 审查员 曹婧 (22)申请日 2021.05.26

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