一种用高温氮气保护推板窑生产高纯氮化硅粉的工艺方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种用高温氮气保护推板窑生产高纯氮化硅粉的工艺方法.pdf

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本发明公开了冶金技术技术领域一种用高温氮气保护推板窑生产高纯氮化硅粉的工艺方法，将高纯硅粉研磨至200目以上，将高纯硅粉与粘结剂混合搅拌后通过成型机进行成型造粒；将成型的高纯硅粒放入坩埚中送入推板窑进行连续生产；高纯硅粒先经过预热区预热，再缓慢经过进入氮化区，压缩氮气通过从降温区往预热区逆向进入，可以进行充分渗氮，最后烧结后的产品进入冷却区；研磨成高纯氮化硅粉；本发明用高温氮气保护推板窑生产出来的产品纯度高，质量稳定。因是连续化生产，人工成本低，单位能耗少，产量大。用氮化硅坩埚盛放，氮化硅球球磨

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113415790 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110124459.2 (22)申请日 2021.01.29 (71)申请人福建新航凯材料科技有限公司

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