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一种方形陶瓷电容式压力传感器.pdfVIP

一种方形陶瓷电容式压力传感器.pdf

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    本发明公开了一种方形陶瓷电容式压力传感器，包括：三孔方形陶瓷基座、玻璃密封层、方形陶瓷弹性膜片、信号调理芯片和电阻电容；三孔方形陶瓷基座顶端表面印刷有金属电路及焊盘，信号调理芯片和电阻电容贴在金属电路及焊盘顶端；三孔方形陶瓷基座底端表面印刷有三孔方形陶瓷基座金属电极，三孔方形陶瓷基座下方设置有方形陶瓷弹性膜片，三孔方形陶瓷基座与方形陶瓷弹性膜片间通过玻璃密封层密封连接。本发明将陶瓷压力感压元件与信号调理芯片融合在一起，实现了单个陶瓷组件就能将压力信号转换成电压信号，结构简化，抗干扰能力更优，方形

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113405697 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 20201

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