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一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法,包括聚合粉的制备方法和聚合液的制备方法,本聚合液配合专用的蜂窝网格研磨垫对半导体晶圆片表面进行研磨时,在保证加工精度的同时能显著提高研磨效率,本方案中的金刚石单晶磨粒为精细研磨的磨料;通过陶瓷造孔剂在研磨颗粒上进行微观造孔,使研磨颗粒上的孔洞增多,孔洞内可以容纳更多更精细的金刚石磨粒;玻璃粉可以形成相互交错的网络,可以增加研磨的韧性,防止整块断裂;本方案制备的研磨粉体颗粒中的棱角较多,研磨效果大大增强。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113372006 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110768630.3
(22)申请日 2021.07.07
(71)申请人 东莞市中微纳米科技有限公司
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