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本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽，相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽，所述加热槽设置于所述坩埚的外部，所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件；盖板，所述盖板盖设于所述坩埚上，所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽，加热槽设置于相邻两个收容槽之间，且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113403586 A
(43)申请公布日
2021.09.17
(21)申请号 20201
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