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本公开提供一种划片蓝膜检查系统和检查方法。检查系统包括承载台、图像获取模块和比对模块,比对模块与图像获取模块电连接;承载台,用于放置待检查的划片蓝膜;图像获取模块,用于分别获取划片蓝膜的条码标识以及与划片蓝膜相对应的圆片的刻号标识;比对模块,用于将条码标识与刻号标识进行比对,并输出比对结果。利用图像获取模块获取待检查的划片蓝膜的条码标识以及对应圆片的刻号标识,可以有效杜绝人为读取条码标识和刻号标识出现错误的情况发生。比对模块将获取到的条码标识与刻号标识进行比对,并输出比对结果,可以准确快速地将不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113420578 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110682651.3
(22)申请日 2021.06.18
(71)申请人 通富微电子股份有限公司
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