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激光加工机、加工方法和激光光源.pdfVIP

激光加工机、加工方法和激光光源.pdf

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    [问题]为了提供可以紧凑的激光加工机、加工方法和激光光源。[解决手段]该激光加工机设置有激光光源和光学系统。激光光源包括：发光体，包括基板和底部发射型垂直共振腔面发射激光元件，该底部发射型垂直共振腔面发射激光元件设置在基板的一个表面上，并从基板的另一表面侧发射激发光；以及共振强，被部署为在基板的所述另一表面侧与发光体接触，并响应于激发光的入射而振荡脉冲激光。光学系统使脉冲激光束缩小，并向工件辐射脉冲激光束。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113423529 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202080012925.1 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所

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