- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113403587 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202110685863.7 C23C 14/54 (2006.01)
(22)申请日 2021.06
文档评论(0)