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系统可使用测量装置测量与样品相关联的对激励的响应。然后,所述系统可使用所述测量的响应和所述激励作为对预定预测模型的输入,在具有代表所述样品的多个体素的正演模型中在逐个体素基础上计算模型参数。所述正演模型可模拟所述样品内发生的对给定激励的响应物理学。举例来说,所述正演模型可基于近似所述响应物理学的微分或唯象方程。此外,所述系统可通过使用所述正演模型、所述模型参数和所述激励比较至少所述测量的响应和计算的所述响应的预测值来确定所述模型参数的准确度。当所述准确度超过预定义值时,所述系统可将所述模型参数作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113423336 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202080013646.7 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限
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