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2023-06-22 发布于四川
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一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台.pdf

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本发明提供了一种清洗装置、清洗设备及晶圆加工装载台，其中，清洗装置包括：相互对合的基板和压板；其中，基板与压板之间形成第一容置空间，且第一容置空间在其中一端面具有与外界连通的第一开口；基板和/或压板上设置有突出体，突出体将第一容置空间分隔为相互间隔的三个腔体；其中，第一腔体与第一开口连通，位于第一腔体与第三腔体之间的第二腔体，通过突出体的第一侧面上设置的多个第一开孔与第三腔体连通，通过突出体的第二侧面上设置的多个第二开孔与第一腔体连通。经过第二开孔的气水混合物由于具有比较大的流速，可以对晶圆装载

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113385467 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202110623874.2 B08B 13/00 (2006.01)

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