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本申请实施例公开了一种晶体炉可视化清洁方法及装置，方法包括：采集晶体炉内壁在洁净状态下的若干图像以及在非洁净状态下的若干图像，以得到晶体炉内壁图像特征库；基于预设程序，控制晶体炉清洁装置旋转升降组件以及套设在旋转升降组件上的清洁箱进行升降或旋转，以对晶体炉内壁进行清洁；其中，清洁箱顶部和侧面安装有清洁刷；清洁完毕后，采集晶体炉内壁的实时图像；对晶体炉内壁的实时图像进行特征提取，并与晶体炉内壁图像特征库中的若干图像进行特征匹配，以确定晶体炉内壁的洁净状态。解决了现有晶体炉清洁方法无法实现自动清洁且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113399319 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110580342.5 C30B 29/36 (2006.01)
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