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基板量测系统及其方法.pdfVIP

基板量测系统及其方法.pdf

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    本发明提供一种基板量测系统及其方法，该基板测量系统用于量测一基板上的线路信息，该基板量测系统包括一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一检测平台以及一处理装置。该第一影像捕获设备设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像。该第二影像捕获设备设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像。该检测平台用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系。该处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113390894 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110209119.X G01B 11/06 (2006.01)

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