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2023-06-22 发布于四川
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本发明提供了一种压力传感器，包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片，该玻璃底座的一面设有凹陷空腔，该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件，所述十字梁膜件的各个端部设有一组压敏电阻、一组重掺杂接触区和一对金属引线，压敏电阻和重掺杂接触区串接，两端由金属引线从重掺杂接触区引出，所述金属引线和所述重掺杂接触区在所述硅应变膜片的正面形成欧姆接触，且各压敏电阻之间形成惠斯通电桥；降低成本，提高效率，可调节传感器的性能，适

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113390552 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110655068.3 (22)申请日 2021.06.11 (71)申请人深圳市美思先端电子有限公司

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