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涂覆体和用于涂覆的方法.pdfVIP

涂覆体和用于涂覆的方法.pdf

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    公开了涂覆体和用于涂覆的方法。涂覆体具有基体和通过物理气相沉积施加到基体的涂层。涂层包括邻近基体的主层和邻近主层的多层。主层包含至少Al和Ti的氮化物。多层包括氧化物或氧氮化物层与氮化物层的交替层。氧化物或氧氮化物层包含Zr、Hf和Cr中的至少之一的氧化物或氧氮化物。氮化物层包含Zr、Hf和Cr中的至少之一的氮化物。金属间层在主层与多层之间，或者在多层的氧化物或氧氮化物层与氮化物层之间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388810 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110268268.3 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2

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