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本发明公开了一种基于石英晶体微天平的湿度传感器及制备方法，包括QCM换能器和其电极表面涂覆有木质素的湿敏薄膜。制备方法的具体步骤是清洗使QCM换能器，用乙醇/水混合溶剂、1.5wt％的浓硫酸与稻秆粉末在反应釜中混合，在180℃搅拌3小时，然后洗涤、干燥得到木质素；然后将木质素在超声的帮助下均匀的分散在乙醇中得到均匀的敏感材料分散液；然后涂覆在石英晶体微天平的电极表面，干燥6‑8小时，制备为涂覆有木质素的湿度传感器。本发明基于石英晶体微天平的湿度传感器不但有灵敏度高、响应/恢复时间快、重复性好、湿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390748 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110665912.0
(22)申请日 2021.06.16
(71)申请人 电子
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