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2023-06-22 发布于四川
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一种异质单晶薄膜的制备方法及异质单晶薄膜.pdf

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本发明涉及材料制备技术领域，特别涉及一种异质单晶薄膜的制备方法及异质单晶薄膜。包括：获取薄膜转移衬底，薄膜转移衬底包括相对的第一表面和第二表面；对薄膜转移衬底进行离子注入，在薄膜转移衬底内形成注入损伤层；获取支撑衬底和刚性衬底；将支撑衬底与第一表面键合，刚性衬底与第二表面键合，得到键合衬底；对键合衬底进行热处理，使得键合衬底沿注入损伤层剥离，得到异质单晶薄膜。通过在薄膜转移衬底的另一个表面上键合刚性衬底，优化异质衬底结构中的热应力分布，极大地改善了异质键合结构在加热剥离时所面临的形变，能够提高薄

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394338 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110467099.6 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人上海

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