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2023-06-22 发布于四川
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一种硅片的导片系统.pdf

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本发明公开了一种硅片的导片系统,包括输送装置、缓存装置、储存装置、取片装置和接片装置，输送装置包括上料输送机构和下料输送机构，上料输送机构将装载未加工硅片的花篮输送至缓存装置，下料输送机构对由缓存装置输入的空花篮或装载已加工硅片的花篮进行输送，输送装置、缓存装置和储存装置对空载花篮或装载硅片的花篮进行输送，取片装置用于硅片在储存装置和接片装置间的传输，本发明实现了将未加工硅片从花篮输送至接片装置的自动上料工序以及将已加工硅片从接片装置导入至花篮的自动下料工序，本发明采用上接片机构和下接片机构以及

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113394145 B (45)授权公告日 2022.08.19 (21)申请号 202110494654.4 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2021.05

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