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本发明涉及一种碳化硅衬底片抛光用砂轮及其制备方法,该砂轮由基体和磨料层组成,所述磨料层的各原料重量百分比为:金刚石磨料22‑45%、环氧丙烯酸树脂5‑40%、木质纤维素20‑35%、纳米二氧化硅10‑20%。本发明制备的树脂抛光砂轮,采用特殊的真空高压浸渍法和光固化相结合的成型方式,解决粉末树脂粉热压法磨料聚集的难题,磨料在砂轮体系中分散均匀性好,对碳化硅衬片的抛光质量好。同时,木质纤维素形成的三维网状通孔结构,不仅有利于冷却和容屑,磨削能够脆性断裂和剥离形成新的磨削工作层。本发明制备的碳化硅衬
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113400206 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110703112.3 (51)Int.Cl.
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