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本发明涉及硅片加工技术领域，特别是涉及硅片输送分散装置。硅片输送分散装置包括传送组件，传送组件能够对于硅片进行传送；夹紧组件，夹紧组件设于传送组件的两侧，夹紧组件和传送组件之间形成能够容置硅片的容置区，夹紧组件能够夹紧并传送硅片；及，喷水组件，喷水组件设于夹紧组件上，传送组件与夹紧组件配合能够将硅片传送至传送组件靠近喷水组件的一端，喷水组件能够对硅片吹水，以使硅片与相邻的硅片分离。本发明的优点在于：依靠夹紧组件夹紧硅片，能够使得硅片之间存在间隙而不相互抵靠，在吹水分片时容易将硅片分开，而且硅片不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113394150 B
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202110882181.5 (51)Int.Cl.
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