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均温板及其制造方法.pdfVIP

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    本申请提出一种均温板的制造方法，包括：提供一具有铜箔层的覆铜基板，压合一光阻层，曝光，显影以形成一外侧开口及多个内侧开口；在多个内侧开口进行电镀形成多个导热凸块，在外侧开口进行电镀形成一连接凸块，所述连接凸块包围多个所述导热凸块，移除光阻层以获得一个中间体；将两个中间体层叠，使得其中一中间体的连接凸块与另一中间体的连接凸块对应，然后焊接两个相对应的连接凸块以在两个中间体之间产生封闭腔室，抽真空，向封闭腔室注入工作流体，即得到所述均温板。本发明提供通过电镀的方式在铜箔层上形成导电凸块可以明显增强铜

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113396309 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 201980033524.1 (74)专利代理机构 深圳市赛恩倍吉知识产权代

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