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一种碲锌镉衬底中无第二相夹杂的控制方法.pdfVIP

一种碲锌镉衬底中无第二相夹杂的控制方法.pdf

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    本发明公开了一种碲锌镉(CdZnTe)衬底中第二相夹杂的控制方法。包含一种原材料配比的设计和晶片退火处理方法，二者合一形成完整的技术方案。区别于传统的第二相夹杂改进方法，该方法利用原料精确配比设计，控制晶体中的第二相夹杂的种类、尺寸和密度，并利用晶片退火工艺对衬底进行后处理，可以实现衬底中无第二相夹杂，处理后的碲锌镉衬底质量得到极大地提升。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388889 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110546790.3 (22)申请日 2021.05.19 (71)申请人 中国电子科技集团公司第十一研究

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