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自动物料传输系统及自动化物料传输方法.pdfVIP

自动物料传输系统及自动化物料传输方法.pdf

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    本发明提供了一种自动物料传输系统及自动化物料传输方法，包括机台、终端设备、天车和自动搬送轨道，所述天车为多个且用于在所述自动搬送轨道上运行，所述终端设备用于控制晶圆的自动化加工，每个所述天车能够将其位置信息发送给所述终端设备，所述终端设备可根据各所述天车所发送的位置信息获取天车的拥堵状态。本发明可提升天车在各机台之间的搬运效率，并同时提高各机台装载端口的使用率，进而可提高物料的搬运效率，降低天车的堵车风险，提高产能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113401677 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202110748236.3 H01L 21/677 (2006.01) (22)申请日 2021.0

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