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一种导流筒和拉晶炉.pdfVIP

一种导流筒和拉晶炉.pdf

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    本发明实施例公开了一种导流筒和拉晶炉；所述导流筒包括：由外导流筒上部和外导流筒下部于第一接合处接合形成的外导流筒；与所述外导流筒同轴设置并连接的内导流筒；与所述内导流筒在第二接合处接合且与所述外导流筒下部形成缝隙的导流筒套筒；其中，第一接合处和/或所述缝隙处经设置以避免多晶硅熔液飞溅填充而产生粘连。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113403675 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202110686468.0 C30B 29/06 (2006.01) (22)申请日 2021.06

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