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2023-06-22 发布于四川
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一种半导体设备用滤风整流装置.pdf

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本发明公开了一种半导体设备用滤风整流装置，其结构包括底座、机体、控制台，底座顶面与机体底面焊接连接，控制台背面嵌入于机体正面，本发明通过抽气管将气体抽入机体内，并通过机体内设有的两个滤板来对气体进行过滤，随后通过另一侧的抽气管整流后向外输出，若空气中包含有纸片阻挡在滤罩上形成堆积，则可以通过推簧产生的反弹力反推滤块，进而令接触头快速撞击在滤罩上，同时通过甩锤撞击外扩结构进而使其可以有效扩张并快速复原同时产生震动，使堆积在滤罩上的纸片受到横向与纵向的推动而被弹开同时通过震动使其脱落，避免由于纸片大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113426217 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110555439.0 (22)申请日 2021.05.21 (71)申请人唐国远地址 311

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