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本发明公开了一种微流控装置及其驱动方法，属于微流控技术领域，微流控装置包括层叠设置的第一基板、第二基板、第三基板；第一基板上开设有进液口、第一进料口和第二进料口，第二基板朝向第一基板的一侧开设有第一流道和第一收集池，第三基板朝向第二基板的一侧开设有第二流道和第二收集池，第一流道上的多个第一通孔的孔径大于第二流道上多个第二通孔的孔径。微流控装置还可以至少包括第一基板和第二基板，第二基板远离第一基板的一侧设置有第一薄膜，第一薄膜包括光致形变薄膜或电致形变薄膜中的任一种，第一薄膜包括多个第一子孔。本发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113416626 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110697436.0
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 上海
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