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本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种通过磁性实现衬底固定的装置。该装置主要由磁铁载板、永磁铁组和盖板组成，永磁铁组中包括若干个磁铁，呈紧密排布的阵列结构，每行每列上不低于7个磁体，且相邻两个磁铁的极性相反；与现有技术相比，本发明通过磁场来实现衬底固定，保证对样品零污染；可通过磁铁的磁性强度和盖板厚度分别实现对衬底固定强度的大幅度调控和微调；这种固定方式能保证被固定的衬底上表面是完全暴露的，可方便地对衬底表面进行微纳加工和掩模版对准。操作简单便捷，不需要额外的力学夹持机构，尤其是在特定的操作环境
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113400216 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110568924.1
(22)申请日 2021.05.25
(71)申请人 复旦大学
地址 20
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