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配备具有多个宽带输出的辐射源的量测设备.pdfVIP

配备具有多个宽带输出的辐射源的量测设备.pdf

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    公开了一种用于光刻制造工艺中的量测设备。该量测设备包括辐射源，该辐射源包括具有分裂成多个光学路径的输出的驱动激光器，所述多个光学路径中的每个都包括各自的宽带光产生器。该量测设备还包括：照射光学器件，所述照射光学器件用于照射结构；至少一个检测系统，所述至少一个检测系统用于检测已经由所述结构散射的散射辐射；以及处理器，所述处理器用于根据所述散射辐射确定所述结构的感兴趣的参数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113424106 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202080014088.6 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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