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本发明提供一种Zr‑B‑O‑N薄膜、Cu互连体及其制备方法,以ZrB2复合靶为靶材,在N2和Ar混合气氛下进行反应磁控溅射,在基底上沉积得到Zr‑B‑O‑N薄膜在所述的Zr‑B‑O‑N薄膜上沉积Cu层得到Cu互连结构。本发明得到的Zr‑B‑O‑N薄膜为非晶结构,具有扩散阻挡性能,能解决Cu互连结构中Cu扩散的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113403597 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110667577.8 H01L 21/768 (2006.01)
(22)申请
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