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2023-06-22 发布于四川
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基片输送系统、真空基片输送模块和基片输送方法.pdf

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本发明提供一种基片输送系统、真空基片输送模块和基片输送方法。基片输送系统包括基片处理模块、大气基片输送模块、第1真空基片输送模块、第2真空基片输送模块、负载锁定模块和真空基片输送机械臂。第1真空基片输送模块与大气基片输送模块和基片处理模块相邻地配置，具有第1输送空间。第2真空基片输送模块配置在第1真空基片输送模块之上或之下，具有与第1输送空间连通的第2输送空间，且具有俯视时比第1真空基片输送模块小的外形尺寸。负载锁定模块配置在大气基片输送模块与第2真空基片输送模块之间。真空基片输送机械臂配置在第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394143 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110224166.1 (22)申请日 2021.03.01 (30)优先权数据 2020-0418

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