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本发明公开一种阴极组件一体化工艺线,包括阴极组件工装板、工装板输送轨和工艺装置;所述工装板输送轨包含进板端和出板端,所述阴极组件工装板依次由所述进板端向所述出板端运行,所述阴极组件工装板上设有阴极组件承载夹具;所述工装板输送轨在所述进板端与所述出板端之间设置若干个阴极组件工艺工位,所述阴极组件工艺工位包括上料工位、焊接工位、第一冷却工位、电阻检测工位、碳化工位、第二冷却工位和点钛工位;所述工艺装置对应设置在所述工装板输送轨的阴极组件工艺工位上。本发明通过整合设计,将磁控管阴极组件的工艺设备整合形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113410109 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110696665.0
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 中山市美格电子科技有限公司
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