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基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法.pdfVIP

基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法.pdf

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    本发明提供基板载体、成膜装置、基板载体的输送方法以及成膜方法。在利用基板载体保持并输送基板并且进行成膜的成膜装置中，能够提高使基板载体循环时的效率。基板载体具有：板状部件，所述板状部件保持基板；一对第一部件，所述一对第一部件分别固定于板状部件的沿着第一方向的第一边和第二边，且分别沿第一方向延伸设置；以及一对第二部件，所述一对第二部件分别固定于板状部件的沿着与第一方向交叉的第二方向的第三边和第四边，且分别沿第二方向延伸设置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394144 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110269191.1 (22)申请日 2021.03.12 (30)优先权数据

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