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一种用于衬底处理系统的静电卡盘包含单体，其由陶瓷制成。多个第一电极被设置在该单体中邻近该单体的顶表面处，且被配置成选择性地接收夹持信号。气体通道形成于该单体中，且被配置成将背侧气体供应至该顶表面。冷却剂通道形成于该单体中，且被配置成接收流体以控制该单体的温度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113439330 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202080014009.1 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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