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本发明涉及真空吸附机械手技术领域,公开了晶圆传输装置及其真空吸附机械手。该用于晶圆传输的真空吸附机械手,包括底座、支撑环、旋转支撑板、支柱、旋转结构、起降结构、伸缩结构、吸附结构,底座内设置有旋转结构,起降结构、伸缩结构和吸附结构设置于支柱上。通过旋转结构控制机械手的旋转,起降结构控制机械手的上下移动,伸缩结构控制机械手的伸缩,再配合吸附结构对晶圆进行吸附和转动,不仅吸附能力好,而且在吸附运输过程中姿态灵活可调,运输所需空间小,减小产线投资;通过伸缩吸附嘴的单点吸附,不仅保证翘曲晶圆依然可以被吸
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394156 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110682648.1
(22)申请日 2021.06.21
(71)申请人 深圳
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