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本发明涉及一种电容阵列结构及其形成方法。所述电容阵列结构的形成方法包括如下步骤：提供一基底，所述基底表面暴露有电容触点，所述基底包括阵列区域和外围区域；形成覆盖所述基底和所述电容触点的底部支撑层，所述底部支撑层中具有缝隙；形成填充所述缝隙、并覆盖所述电容触点和所述底部支撑层表面的填充层，且位于所述外围区域的所述填充层厚度大于位于所述阵列区域的所述填充层厚度；形成沿垂直于所述基底的方向交替堆叠的支撑层和牺牲层；形成电容孔；依次形成下电极层于所述电容孔的内壁、电介质层于所述下电极层的表面、以及上电极
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113394162 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202010169180.1 H01L 27/108 (2006.01)
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