用于异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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本发明提供用于制造异质结太阳能电池的镀膜方法以及镀膜设备。该方法先将承载有经制绒硅片的托盘传送至第一本征PECVD反应腔；然后对第一本征、N型、第二本征、P型PECVD反应腔、第一、第二PVD腔同时抽真空；接着在第一本征PECVD反应腔进行第一本征PECVD工艺，从而在硅片正面形成第一本征非晶硅；然后将托盘分别传送至N型、第二本征、P型PECVD反应腔中分别进行N型、第二本征、P型PECVD工艺，从而在第一本征非晶硅上形成N型非晶硅、在硅片背面上依次形成第二本征、P型非晶硅；接着将托盘传送至第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113410343 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110645526.5 (22)申请日 2021.06.10 (71)申请人理想

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