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本发明提供了一种挠性摆片位移测试装置及测试方法,挠性摆片包括摆舌及线圈,摆舌的部分表面覆盖有镀金膜层形成反射区,装置包括光源、分光板、温度调节器、第一反射镜组及光电探测器,光源发出的平行光在分光板处分别形成第一检测光及第二检测光,第一检测光经分光板反射至第一反射镜组,经反射后再经分光板透射后被光电探测器接收,第二检测光经分光板透射至反射区,经反射后再经分光板反射后被光电探测器接收,温度调节器用于调节线圈的温度,根据光电探测器接收的光程信息获取挠性摆片的第一位移。通过采用光学相位测量方法来测量石英
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113405474 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202110895112.8 G01P 21/00 (2006.01)
(22)申请日 2021.08
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