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本申请提供一种薄膜体声波器件及其制备方法，所述薄膜体声波器件包括：带有空腔的薄膜体、顶电极层和底电极层；所述带有空腔的薄膜体包括第一衬底层和压电薄膜层，所述空腔贯穿所述第一衬底层；所述底电极层沉积于所述空腔内裸露的压电薄膜层下，所述顶电极层沉积于所述压电薄膜层上、与所述底电极层相对。由于体声波产生区域为底电极层与顶电极层所覆盖区域，因此，本申请实施例提供的薄膜体声波器件，相对有现有技术中，在整个压电膜层的两面完全覆盖底电极层和顶电极层的方案，可以降低驱动电压，减少声波滤波器的耗能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113411064 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202010188672.5
(22)申请日 2020.03.17
(71)申请人 济南晶正电子科技有限公司
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