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本发明公开了一种利用激光组装制备半导体微纳米结构的方法及其应用，属于半导体制备技术领域，即利用激光诱导沉积作用精准直写黑硅微纳米结构或碳化硅微纳米结构。通过将微量的半导体纳米粒子颗粒分散在去离子水溶剂中，在强力超声30分钟下，纳米颗粒形成具有一定稳定性的胶体溶液，激光与胶体溶质纳米颗粒作用，最终在电极上形成编程可控的具有高纵横比的半导体微纳米结构。其主要原理为，利用激光与纳米颗粒作用，使得激光的动量发生改变，最终形成的效果是纳米颗粒聚集在激光焦点附近，由于纳米颗粒吸收光能后大部分以热量的形式散发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113401864 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202010617797.5
(22)申请日 2020.06.30
(71)申请人 吉林
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