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2023-06-22 发布于四川
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一种可调节探针卡装置的对针方法.pdf

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本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种可调节探针卡装置的对针方法，包括以下步骤：步骤a探针复位；步骤b探针定位；步骤c探针调整；在探针单元阵列的外侧转动移动磁体，移动磁体沿一圆周移动，该圆周的圆心位于探针单元阵列中心，且在移动时移动磁体的一磁极保持指向探针单元阵列中心，探针单元的固定磁体被移动磁体吸引并随之转动，带动探针单元的探针体转动，探针体通过其与探针帽的螺纹连接，使探针单元阵列内的探针下端高度改变，能够实现对探针卡的探针高度方向上进行对针，同时能够用于探针与晶圆接触后，探针高度方向上的调整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113419091 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110820454.3 (22)申请日 2021.07.20 (71)申请人范长旭地址 150

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