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本发明大体上涉及一种去除组合物和方法,其尤其适用于从上面有氧化铈粒子和CMP污染物的微电子装置,尤其具有PETEOS、氮化硅和多晶硅衬底的微电子装置清洁所述粒子和CMP污染物。在一个方面中,本发明提供利用不含硫和磷原子的络合剂处理上面有氧化铈粒子的微电子衬底。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113412326 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202080012705.9 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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