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本发明提供一种透射光学系统的检查装置，能够以高灵敏度检测被检体的缺陷。本发明的例示性的实施方式所涉及的透射光学系统的检查装置包括：光源，向被检体照射光；聚光透镜，在被检体上形成光的焦点；遮光部，局部地遮挡由聚光透镜集中的光；以及拍摄部，接收通过被检体后的光而取得影像，光源的宽度相对于遮光部的宽度的比例为1：1～1：8。由此，能够以高灵敏度检测被检体的缺陷。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113406101 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110276981.2
(22)申请日 2021.03.15
(30)优先权数据
10-2020-0
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