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2023-06-22 发布于四川
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一种多轴旋转式工件装载机构.pdf

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本发明涉及薄膜沉积、喷涂、刻蚀等工件加工技术领域，尤其是一种多轴旋转式工件装载机构，其特征在于：包括固定端、驱动端、基础板、主轴，其中所述主轴安装在所述固定端和所述驱动端之间且其可旋转；所述基础板用于承载工件，所述基础板上具有万向节，所述基础板通过所述万向节呈一定角度倾斜地安装在所述主轴上。本发明的优点是：通过控制基础板的旋转状态有效提高工件加工操作的均匀性；针对不同的工件可通过更换固定角度块来调整工件的倾斜角度，以满足不同工件的加工均匀性的要求，适用范围广；工件安装方便，保证效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113387154 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110805850.9 (22)申请日 2021.07.16 (71)申请人光驰科技（上海）有限公司

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