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本发明涉及薄膜沉积、喷涂、刻蚀等工件加工技术领域,尤其是一种多轴旋转式工件装载机构,其特征在于:包括固定端、驱动端、基础板、主轴,其中所述主轴安装在所述固定端和所述驱动端之间且其可旋转;所述基础板用于承载工件,所述基础板上具有万向节,所述基础板通过所述万向节呈一定角度倾斜地安装在所述主轴上。本发明的优点是:通过控制基础板的旋转状态有效提高工件加工操作的均匀性;针对不同的工件可通过更换固定角度块来调整工件的倾斜角度,以满足不同工件的加工均匀性的要求,适用范围广;工件安装方便,保证效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113387154 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110805850.9
(22)申请日 2021.07.16
(71)申请人 光驰科技(上海)有限公司
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