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本发明提供一种光干涉系统和基板处理装置。提供通过简易的结构来测量测定对象物的物理性质的技术。在一个例示性的实施方式中，提供一种光干涉系统。光干涉系统具备：光源，其构成为产生测定光；光纤，其构成为传输测定光；以及测量部。光纤具有单模光纤、多模光纤、以及将单模光纤和多模光纤连接的连接部。光纤的顶端由多模光纤构成。光纤的顶端的端面构成为向测定对象物射出测定光并且被射入来自测定对象物的反射光。测量部构成为基于反射光来测量测定对象物的物理性质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390352 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110244840.2
(22)申请日 2021.03.05
(30)优先权数据
2020-0441
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