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本发明涉及一种差动式力敏感传感器,两片石英芯片在承载体内部放置位置呈垂直布置,外力通过承载体传导力直接作用于其中一块石英芯片,使石英芯片受到压力,而另外一块石英芯片则因垂直放置而受到拉力,两块石英芯片分别受到拉力和压力,将会产生方向相反的频率变化,形成差动式结构,最终通过检测频率的变化便可实现对力的检测,同时还可减少外界温度的影响。本发明结构具有结构简单,力矩传感精准度及分辨率同步等级高,工业化容易生产,节约产品生产成本等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390538 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110818273.7
(22)申请日 2021.07.20
(71)申请人 台晶(宁波)电子有限公司
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