一种超声辅助激光烧蚀聚合物表面成形的制备系统及方法.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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一种超声辅助激光烧蚀聚合物表面成形的制备系统及方法.pdf

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本发明公开了一种超声辅助激光烧蚀聚合物表面成形的制备系统及方法，方法包括S1、将基板安装于三维微位移平台上表面，将聚合物安装于基板上表面，将基板与超生振动装置连接；S2、将保护罩安装于基板上表面以包围聚合物，闭合保护罩顶部，抽出罩内气体，真空后持续输入惰性气体至罩内；S3、打开超声振动装置以使基板产生超声振动，并将超声振动传递至聚合物；S4、打开保护罩顶部，控制激光发生装置发出相应角度激光以对聚合物进行烧蚀；S5、控制三维微位移平台位移，以间接控制激光烧蚀的扫描速率、方向，以在聚合物上制备相应的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113414498 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110649216.0 (22)申请日 2021.06.10 (71)申请人杭州电子科技大学地址

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